針對超高真空互聯(lián)應用領域進行專業(yè)設計;
自動化程度高:可實現(xiàn)全自動控制樣品傳送;
位置重復性好:位置重復誤差小于0.2mm;
傳樣機械臂在腔體內可360°旋轉;
整體耐高溫:工作溫度大于150℃;
圓形樣品傳樣腔
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國成儀器(常州)有限公司目前成熟并應用于市場的產品有:MBE、蒸發(fā)源、rheed
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